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如何快速熱退火?金屬熱處理工藝

作者:宏創(chuàng)高頻 日期:2021-05-18 10:49:19 點(diǎn)擊數(shù):
 眾所周知,熱退火在工業(yè)上制造機(jī)械,具體一定的重要性,許多大廠(chǎng)都很在意安全生產(chǎn)這塊的,畢竟是一個(gè)高溫情況下生產(chǎn)產(chǎn)品的區(qū)域,今天我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)這方面的相關(guān)事宜。
 
如何快速熱退火?金屬熱處理工藝(圖1)
 
  如何快速熱退火?金屬熱處理工藝
 
  熱退火工藝提供了一種用于加工基材的方法,所述方法包括:提供具有表面的基材;提供共聚物組合物,所述共聚物組合物包括:聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分,其中聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分的數(shù)均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化劑,其中共聚物組合物包含>2wt%的抗氧化劑,基于嵌段共聚物組分的重量 ;施加上述共聚物組合物的薄膜到基材表面;任選地,烘焙上述薄膜;通過(guò)在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的氣體氣氛下加熱薄膜1秒鐘到4小時(shí)來(lái)退火上述薄膜;處理上述退火薄膜以從退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和將退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段轉(zhuǎn)換成SiOx。
 
  作為一種新興的光刻技術(shù)越來(lái)越受到人們的關(guān)注
 
  在定向自組裝中的應(yīng)用:近兩年來(lái),嵌段共聚物定向自組裝( DSA, Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技術(shù)作為一種新興的光刻技術(shù)越來(lái)越受到人們的關(guān)注。其原理與之前所敘述的幾種技術(shù)有很大不同,是利用嵌段共聚物在熱退火或溶劑退火等條件下分相形成納米結(jié)構(gòu),以形成的納米結(jié)構(gòu)作為模板對(duì)襯底進(jìn)行刻蝕實(shí)現(xiàn)圖形化的一種技術(shù)。
 
  關(guān)于熱退火宏創(chuàng)小編就為您介紹到這,倘若您還有其他相關(guān)問(wèn)題,不妨登陸我們的官網(wǎng)通過(guò)在線(xiàn)咨詢(xún)或電話(huà)與小編取得聯(lián)系。


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